Vacuum Dry Oven  
Sputter System
E-Beam System
EMI Coating System
PDP용 배기봉착 시스템
Vacuum Dry Oven
특수기능용 Vacuum 시스템

 
상 담 문 의
 
 
055) 251-9663
 
 
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  Vacuum Dry Oven

 










미래하이텍 Vacuum Dry Oven은 고가의 소모성 반도체 및 LCD,
PDP 부품의 재 사용을 위한 습식 세정 공정 중 표면에 흡착된 수분과
오염물 등을 진공 상태에서 Baking 처리하는 장치임.

다양한 크기의 장비 제작가능하며, 다양한 형태와 크기의 시료들을
처리할 수 있는 시편 적재 Cart를 자동으로 Loading 할 수 있음.

균일한 온도분포를 위해 적절히 방열판을 배치하였으며,
Heater를 개별제어 하였음.

 
 

 
 
 
 
Specification
  ▷ Size : 1690(W) x 3390(L) x 3090(H
▷ Pumping System : Dry + Booster
▷ Temp. Uniformity : ± 5%
▷ Max. Temperature : 300°C
▷ Ultimate Pressure : 10E-3 Torr